簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "林世聰".ccommittee (精準) and cdept.raw="機械工程系"


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    雙自由度外差式雷射散斑干涉儀
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 郭柏均 指導教授: 謝宏麟 林紀穎
    • 本研究提出一套創新的雙自由度外差式雷射散斑干涉儀,此套干涉儀系統結合外差和散斑干涉術之優點,具備高的靈敏度和解析度及大量測範圍等量測性能。 此套雙自由度外差式雷射散斑干涉儀藉由光柵來實踐對稱式的光路…
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    全域式晶圓翹曲量測技術
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 黃永光 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究成功開發一套創新的全域式晶圓翹曲量測系統,用以即時偵測待測晶圓的翹曲值及其表面形貌。此套晶圓翹曲量測技術以「疊紋」為技術核心,結合光柵自成像效應、瞬時相移法及四步移相法等設計概念進行開發,使系…
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